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HOME > 제품소개 > 소재별 특성 및 용도
 
특성
 
 염기, 산, 유기용매에 강하며 높은 기계적 강도와, 내크리프성, 치수안전성,
  전기절연성, 난연성이 뛰어나고 응력 취성에 민감하지 않으며 낮은온도
환경에서 PEEK대체품으로 적합함.
 사용온도 : 연속사용 230℃, 용융점 285℃
  비중 : 1.35
 
용도
 
 반도체 CMP CVD공정등에 사용
  Retainer Ring, Clamp Ring, Spin Chuck, SOG Catch Cup등
 
특성
 
 엔지니어링 프라스틱중 High-performance plastics으로서 내열성이 좋은
  소재로 고온 환경에서 최고의 기계적 강도 및 내마모성을 가지고 있으며
이온 불순물이 매우적고, 물 이외에는 Out gas가 발생하지 않으므로 LCD
및 반도체 프라즈마 공정등 높은 강도와 온도를 요구하는 곳에 사용된다.
 열변형온도 : 435℃
   
 
용도
 
 반도체 - Confinement Ring, Plunger, Screw등
  LCD - Lift Pin, Guide Block등
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