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HOME > 제품소개 > 소재별 특성 및 용도
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특성
 
 고분자 수지중에서 최고의 내열성과 고진공 고온의 Plasma조건에서 내
  Out Gassing에 가장 탁월한 소재이며 무윤활 조건에서 일반수지의 10배
이상의 내마모성을 가지며 내크리프성,전기 특성이 우수하며 기계가공성이
우수함
 사용온도 : 연속사용 288℃, 단시간 482℃
  열변형 360℃, 극저온사용온도 1K
 
용도
 
 반도체 Dry Etch, CVD공정 Chamber 내 소모성 부품으로 많이 사용됨.
  Edge Ring, Shield Ring, Clamp Ring, Focus Ring, Retainer Ring등
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특성
 
 고순도, H2SO4에 용해되는것을 제외하고는 탁월한 내화학성과 마찰계수가
  낮고 자기윤활성이있어 내마모성이 우수하며 내열성과 220℃의 고온에서
전기절연성이 우수하다. 난연성이 V-0로 연기와 유독가스 발생이 적은
특성을 가지고 있으며 기계적 강도가 우수하며 NH40H, HF에 강함. PPS와
유사한 내약품성이 있지만 PPS보다 높은 온도에서 사용 가능함.
 사용온도 : 연속사용온도250℃, 용융점 334℃
  비중 : 1.32
 
용도
 
 반도체 Wet Etch, CMP공정등에 사용.
  Wafer Guide, Robot Chuck, CMP Retainer Ring등
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