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HOME > 제품소개 > 소재별 특성 및 용도
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특성
 
 기계적 강도가 크고 내 마모성이 우수하며 고온다습 조건하에서도 치수
  안전성이 뛰어나며 금속재료와 결합할 수 있는 엔지니어링 프라스틱
종류임.
 사용온도 : 연속사용 100℃, 용융점 175℃
  비중 : 1.41
 
용도
 
 반도체 CMP, CVD, Photo공정등에 사용
  CMP Wear Ring, SOG Catch Cup, Housing Resister등
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특성
 
 약품성, 전기적특성, 표면성이 우수하며 PTFE에 비하여 기계적 성질이
  우수하며 가스 차폐성이 좋음
 사용온도 : 연속사용온도 150℃, 용융점 216℃
  비중 : 2.10
 
용도
 
 반도체 Photo 공정등에 사용.
  Spin Chuck, Main Arm Finger등
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