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HOME > 제품소개 > 소재별 특성 및 용도
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특성
 
 투명성과 강도를 동시에 갖춘 수지로 열변형 온도가 높으며 치수안전성,
  자외선 안전성 및 내크리프성, 절연파괴전압이 높고 온. 습도에도
안정적이며 우수한 방음성이 있음.
 사용온도 : 연속사용온도 120℃, 열변형온도 135℃
  비중 : 1.2
 
용도
 
 반도체 Dry Etch, CMP, CVD 공정등에 사용
  Chamber Viewport Cover, Insulator, Cathode Plate, CMP Guide Ring등
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특성
 
 불소수지의PTFE는 현존하는 고분자 재료중에 서 화학적으로 가장
  안정적인 재료이기 때문에 통상조건에서 대부분의 산, 알카리, 유기용제에
침해되지 않고 내열성이 우수하며 마찰계수가 낮고 전기절연성도 대단히
우수함.
 사용온도 : 연속사용 260℃, 용융점 327℃
  비중 : 2.18
 
용도
 
 반도체 Wet Etch 공정등에 사용됨.
  Chemical Bath, Bellows, Wafer Guide, Valve Block, Fitting등
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